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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用

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HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵
HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵

HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵泵具有密封設計,電機和軸承與真空環路全隔離,延長了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設計,可通過簡單的工具在 15 分鐘內完成維護操作??蛇x的集成式隔離閥防止意外污染,并且不會額外增加泵的高度。

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HMDS 烘箱 工業烘箱
HMDS 烘箱 工業烘箱

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合。

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HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱

HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。

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HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱 工業烘箱
HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱 工業烘箱

HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

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HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機 工業烘箱
HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機 工業烘箱

HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機的主要作用是對晶圓做表面處理,以增加光阻在晶圓表面的附著力。當晶圓送到黃光區時,表面可能有含水層,高溫烘烤后去除水氣,同時經過HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性,將晶圓表面的表面能被調整到與光阻表面相當的程度,從而使光阻可以很好的附著在晶圓表面。

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